產(chǎn)品描述
用于半導(dǎo)體硅片研磨、單晶硅的加工領(lǐng)域等
產(chǎn)品特點(diǎn)
目前，采用陶瓷研磨盤(pán)研磨半導(dǎo)體硅片是優(yōu)越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對(duì)切割好的硅片進(jìn)行研磨，通過(guò)改善研磨工藝（磨盤(pán)材質(zhì)、研磨液、研磨壓力及研磨轉(zhuǎn)速等）來(lái)提高研磨片的質(zhì)量；尤其是使用陶瓷盤(pán)代替鑄鐵盤(pán)，避免研磨時(shí)對(duì)晶片的主面造成傷痕或污染，減少了金屬離子的引入，可減少硅片的后續(xù)加工量，縮短了后續(xù)工序（腐蝕）時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，而且減少了硅片加工的損耗，提高了硅片的利用率。
產(chǎn)品圖片
化學(xué)指標(biāo)
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性能 |
順鵬陶瓷 |
國(guó)內(nèi)水平 |
國(guó)外水平 |
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密度（g/cm3） |
3.97 |
3.81-3.93 |
3.9-3.94 |
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純度（%） |
99.9 |
98-99.8 |
99.5-99.9 |
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維氏硬度（GPa） |
17 |
14-15 |
16-17.5 |
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三點(diǎn)抗彎強(qiáng)度(MPa) |
520 |
300-350 |
330-400 |
產(chǎn)品規(guī)格
∅850mm、厚45mm以下的高純氧化鋁圓盤(pán)、園環(huán)（尺寸可以定制）
順鵬優(yōu)勢(shì)
我司還可以生產(chǎn)以下規(guī)格的高端陶瓷：
1、1500×600×25mm以下的長(zhǎng)板、長(zhǎng)條、方板、薄板；
2、1000×45×45mm以下的導(dǎo)軌；
3、∅300×500mm以下的空管、圓柱體、電真空管等
4、各種形狀的異形件定制產(chǎn)品
我們的產(chǎn)品已出口到澳大利亞、智利、南非、美國(guó)、俄羅斯、日本、印度尼西亞等國(guó)家，順鵬可提供耐磨陶瓷技術(shù)解決方案，將提供適合您要求的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)服務(wù)。
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